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半導(dǎo)體凈化車間裝修工程

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認證資料 Certification Data

深圳市正源環(huán)境科技有限公司

  • 聯(lián)系人:楊雄
  • 官網(wǎng)地址:www.zyhjgroup.cn
  • 經(jīng)營模式:制造商
  • 主營產(chǎn)品:電子廠凈化車間,化妝品無塵車間,食品無菌凈化車間,精密五金無塵車間,廣東潔凈車間
  • 所在地:廣東省深圳市寶安區(qū)航城街道利錦社區(qū)東光路10號光匯工業(yè)園A棟302
  • 供應(yīng)產(chǎn)品:15
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半導(dǎo)體凈化車間裝修工程

半導(dǎo)體凈化車間裝修工程


半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計及注意事項 

1、半導(dǎo)體凈化無塵車間內(nèi)部要確保塵埃粒子只出不進,因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風機將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。
2、為保持恒溫與恒濕,空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風加壓系統(tǒng)使用。鼓風機加壓多久,空調(diào)就得開多久。
3、所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動方向均由上往下為主,因此,凈化無塵車間室內(nèi)空間設(shè)計或機臺擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃等在無塵凈化車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至更低程度。
4、半導(dǎo)體無塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
在半導(dǎo)體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工以及上述的重點難點外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)(含特種氣體供應(yīng)等)及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防安全報警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。

半導(dǎo)體凈化車間裝修工程

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