罩式退火爐是什么? 2020-11-27 15:08:30 退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。 退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。 退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結構,采用纖維結構,節(jié)電60%。