電子無(wú)塵車(chē)間要求： 潔凈室(區(qū))設(shè)計(jì)時(shí)，空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài))應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。 各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定；無(wú)要求時(shí)，可按本規(guī)范附錄A確定。 潔凈室(區(qū))的溫度和相對(duì)濕度應(yīng)按表3．2 3確定。 潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開(kāi)放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。 電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。

技術(shù)參數(shù)：
潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。 有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置： 1 運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同； 2 生產(chǎn)過(guò)程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序、設(shè)備交叉污染，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響； 3 對(duì)溫、濕度控制要求差別大； 4 潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊； 5 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)； 6 系統(tǒng)風(fēng)量過(guò)大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。 潔凈室(區(qū))內(nèi)的溫度、相對(duì)濕度應(yīng)符合本規(guī)范第3．2．3條的規(guī)定。 潔凈室(區(qū))的清掃方式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器。對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1～5級(jí)的潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷。 氣流流型的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求： 1 氣流流型應(yīng)滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)的要求。空氣潔凈度等級(jí)為1～5級(jí)時(shí)，應(yīng)采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6～9級(jí)時(shí)，宜采用非單向流； 凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí)，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)， 潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。 多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時(shí)運(yùn)行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)，應(yīng)集中處理。 風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求： 1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用； 2 應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)氣流流型的要求布置； 3 終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定； 4 送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)； 5 應(yīng)便于安裝、維修及過(guò)濾器更換。滿(mǎn)布或布置率較高時(shí)，外殼強(qiáng)度應(yīng)滿(mǎn)足檢修要求。 層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求： 1 潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級(jí)的局部?jī)艋瘏^(qū)域宜采用層流罩； 2 層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用； 3 終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定； 4 安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。 潔凈室(區(qū))的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求： 1 應(yīng)防止室外氣流倒灌； 2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；