等離子表面改性工藝等離子表面改性工藝是利用各種表面涂鍍層及表面改性技術，賦予基體材料本身所不具備的特殊的力學、物理或化學性能。1.表面工程技術 如高硬度、高耐磨性、耐蝕性、抗高溫氧化性、抗輻射性等。另外，表面工程技術是一門涉及到機械、電子、化工、材料、真空、冶金、表面物理、固體物理，等離子物理、電化學等多學科的邊緣技術，它溶入這些學科的理論和新技術成果。 2.等離子表面合金化技術 表面工程技術領域中，雙層輝光等離子表面合金化是一項具有高技術特征和標志的創(chuàng)新技術。是近十幾年才發(fā)展起來的具有我國獨立知識產權居領 先水平的高新技術。 　　例如在鋼鐵材料表面形成以W-Mo-Cr-V－C、W-Mo－C、W-Mo-Co－C、W-Mo-Nb－C等表面耐磨高合金層、表面高速鋼層、表面時效硬化高速鋼層、表面耐磨高Cr－C層。還可以形成Cr-Ni、Cr-Ni-Si、Cr-Ni-Al、Cr-Ni-Mo-N、Cr-Ni-Mo-Nb等抗高溫氧化合金層和耐腐蝕不銹鋼層。還可以形成超合金表面層，如：Ni基合金，Co基合金，Ti基合金等等。 　　此外，該技術與RF和DC等磁控濺射、電弧沉積、離子注入等滲鍍技術交叉結合，可形成表面沉積層+擴散層的反應滲鍍復合層，制備性能更高的表面耐磨、耐蝕、抗高溫氧化的梯度結構材料、陶瓷材料和功能材料。 　　雙層輝光等離子表面合金化技術的主要特征是：非常有效的解決了高熔點金屬的表面合金化及較高熔點金屬材料表面進行高熔點合金表面合金化的問題。是目前所有表面合金化工藝技術中能夠提供欲滲合金元素方法好的一種技術。是一項可持續(xù)發(fā)展的環(huán)保清潔戰(zhàn)略技術。 　　雙層輝光等離子表面合金化技術主要優(yōu)點是：節(jié)約貴重合金元素、節(jié)省能源和資源的創(chuàng)造性；滲入速度快，比一般合金化技術提高滲入速度至少1/3以上的新穎性；具有可大面積處理，對各種機械零件均能大幅度提高表面性能和延長使用壽命的實用性；表面合金層成分可控、合金化層與基體冶金結合無剝落、無環(huán)境污染、可進行全部真空處理的清潔工藝技術的先進性。該技術已經獲得這方面國家發(fā)明專利十余項以及一系列具有我國自主知識產權的創(chuàng)新成果。 3.滲金屬設備的研究 輝光離子滲金屬工作時，工件和源極均處于氣體放電的真空、高溫和高電壓的狀態(tài)下。因此對設備中電極之間以及對地的絕緣性能要求較高；電極本身導電性要好；電極和爐殼冷卻性能要強；