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MEMS器件制造濕法處理設(shè)備

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    9999
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認證資料 Certification Data

中國電子科技集團公司第四十五研究所

  • 聯(lián)系人:李斌
  • 官網(wǎng)地址:www.45inst.com
  • 經(jīng)營模式:其他機構(gòu)
  • 主營產(chǎn)品:硅片甩干機,探針測試臺,硅片清洗刻蝕設(shè)備,太陽能光伏制造設(shè)備價格,激光打孔機價格
  • 所在地:北京市#北京市北京市大興區(qū)亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)泰河三街1號
  • 供應產(chǎn)品:142
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產(chǎn)品詳情

Product details

微機電系統(tǒng)(MEMS)是指用微機械加工技術(shù)制作的包括微傳感器、微致動器、微能源等微機械基本部分以及高性能的電子集成電路組成的微機電器件與裝置。四十五所研制的MEMS器件制造濕法處理設(shè)備包含濕法硅刻蝕、SiO2刻蝕、去膠清洗、金屬刻蝕、金屬剝離、RCA清洗等。    


聯(lián)系方式

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  • 聯(lián)系人姓名:李斌
  • 聯(lián)系人職位:經(jīng)理
  • 聯(lián)系人手機:18610850081
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  • 詳細地址:北京市#北京市北京市大興區(qū)亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)泰河三街1號