中圖儀器SuperViewW國(guó)產(chǎn)3D光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸?？蓽y(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。 SuperViewW國(guó)產(chǎn)3D光學(xué)輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。針對(duì)完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求，SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見(jiàn)一絲重疊縫隙。

技術(shù)參數(shù)：
部分技術(shù)指標(biāo) 型號(hào) W1 光源 白光LED 影像系統(tǒng) 1024×1024 干涉物鏡 標(biāo)配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100× 光學(xué)ZOOM 標(biāo)配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1× 物鏡塔臺(tái) 標(biāo)配：3孔手動(dòng) 選配：5孔電動(dòng) XY位移平臺(tái) 尺寸 320×200㎜ 移動(dòng)范圍 140×100㎜ 負(fù)載 10kg 控制方式 電動(dòng) Z軸聚焦 行程 100㎜ 控制方式 電動(dòng) Z向掃描范圍 10 ㎜ 主機(jī)尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 700×606×920㎜

使用說(shuō)明：
產(chǎn)品功能 (1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能； (2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能； (3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能； (4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四模塊的數(shù)據(jù)處理功能； (5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五分析功能； (6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。 典型結(jié)果 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等等） 幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）